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EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件。

EBARA EV-SA系列真空干泵是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設計，最大排氣速度達到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實驗室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、輕量、節(jié)能的空冷干式真空泵。無需冷卻水，所需公用工程僅電源，可在單相100V-240V電源下使用。采用小型、輕量的便攜式設計，在有限空間內(nèi)也能實現(xiàn)安裝。除此以外，還采用非接觸式密封結(jié)構，無需更換密封，使用壽命更長。除了各種分析用途以外，它也是便攜式漏泄檢測器以及需要反復搬動的研究和試驗用途的好選擇。