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產(chǎn)品中心EBARA荏原EBARA荏原真空泵ESA70W，ESA100W，ESA200WEBARA ESA系列真空干泵
產(chǎn)品簡介
EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MOCVD等大流量輕質氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | EBARA/荏原 | 功率 | 3-9kW |
|---|---|---|---|
| 輸送介質 | 其他 | 泵軸位置 | 臥式 |
| 極限壓力 | 0.53pa | 葉輪數(shù)目 | 多級 |
| 抽氣速率 | 1400-80000L/MINl/s | 抽氣量 | 1400-80000L/MIN |
| 最大工作壓強 | 10 | 重量 | 410kg |
| 電壓 | 380V | 排出口徑 | 200-500mm |
| 流量 | 1200M3/hm3/h | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源,電子/電池,航空航天 |
EBARA ESA系列真空干泵
EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預真空的zuijia選擇。EBRA真空泵優(yōu)良的控制和監(jiān)測在半導體等要求苛刻的需求中得到長時間驗證。
技術特點：
l 滿足大型真空腔室高速排氣要求
l 低能耗、高抽速
l 選配后可抽取有機氣體、腐蝕性氣體
l 適合氫氣等輕質氣體排氣
l 智能轉子 RPM 控制功能，可實現(xiàn)靈活的氣體通量
l 認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL
典型應用：
l LCD、FPD、OLED等行業(yè)
l 高含量輕質氣體的真空抽取（如H2）
l 腐蝕性氣體的抽取
l PVD、MOCVD等工藝
l 半導體、光伏制程
技術參數(shù)：
EBARA ESA系列真空干泵
設備名稱 | 單位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ||
排氣速度 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | ||
1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | ||||
極限壓力 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | ||
270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | ||||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | ||
3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | ||||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
460V機型 |
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電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | ||
質量概值 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | ||
設備名稱 | 單位 | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ||
排氣速度 | L/min | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | ||
極限壓力 | Pa | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | ||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | ||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
460V機型 |
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電源容量 | kVA | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | ||
質量概值 | kg | 400 | 400 | 400 | 400 | ||
設備名稱 | 單位 | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | ||
排氣速度 | L/min | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | ||
30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | ||||||
極限壓力 | Pa | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | ||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | ||
3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | |||||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | |||||
460V機型 |
|
| 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||
三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | |||||
電源容量 | kVA | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | ||
質量概值 | kg | 410 | 700 | 750 | 1200 | ||
杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。
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