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產品中心INFICON英福康MPHINFICON英福康Transpector四極桿質譜儀
產品簡介
INFICON英福康Transpector四極桿質譜儀（MPH）專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內優秀的性能，有助于最大限度地提高芯片產量，降低工具停工時間。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,航空航天 |
INFICON英福康Transpector四極桿質譜儀（MPH）
持續上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出很高的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內優秀的性能，有助于最大限度地提高芯片產量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優點，在幫助您贏利方面的作用優于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的 RGA 具有行業優秀的數據采集速度，可檢分壓強和信噪比很低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
l 最大模擬掃描和選定峰值的數據速率為每點 1.8 ms
l TCP/IP 以太網連接
l 雙絲極
l 可現場更換電子倍增器
l 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
l 較短的傳感器可降低安裝占地面積
l 九個數量級的動態量程
l <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
l 信噪比更高
l 可調換傳感器和電子元件
l 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
l 符合 RoHS 標準
INFICON英福康Transpector四極桿質譜儀（MPH）
技術規格
型號 | MPH100M | MPH100F | MPH200M | MPH200F | MPH300M | MPH300F |
質量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu |
最小可檢測分壓 | 2E-15 Torr | 3E-13 Torr | 3E-15 Torr | 4E-13 Torr | 4E-15 Torr | 5E-13 Torr |
靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr |
靈敏度 (EM) | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | NA |
最大工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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