INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）

監(jiān)測(cè)并控制快速過程變化

新的Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀(RGA)提供業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的測(cè)量速度，以監(jiān)測(cè)并控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示屏生產(chǎn)所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+非常適合于現(xiàn)場(chǎng)空氣漏點(diǎn)、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測(cè)。相比定期上升率測(cè)試，Transpector XPR 3+ 進(jìn)行的實(shí)時(shí)測(cè)量可提供很好的產(chǎn)品保護(hù)。

通過充分利用工具使用時(shí)間促進(jìn)盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應(yīng)用的經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的四極和雙離子源傳感器。無(wú)需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，部件使用壽命長(zhǎng)，能快速檢測(cè)并診斷問題，從而充分利用工具可用性、產(chǎn)品吞吐量和產(chǎn)量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續(xù)工作，無(wú)需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設(shè)計(jì)用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長(zhǎng)傳感器平均維護(hù)時(shí)間。

優(yōu)勢(shì)

l 從高真空到 PVD 流程壓強(qiáng)條件下，能夠高靈敏度地檢測(cè)空氣泄漏和污染，實(shí)時(shí)保護(hù)晶圓和面板

l 充分利用 PM 效率和工具正常使用時(shí)間，具有快速可靠的腔室條件

l 通過延長(zhǎng)使用壽命、防污染、雙離子源設(shè)計(jì)最小化總體擁有成本；無(wú)需泵，即可監(jiān)測(cè)高達(dá) 20 mTorr 的壓強(qiáng)。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇

l 通過強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無(wú)縫工廠集成和可靠阻斷

l 通過定制配方優(yōu)化增強(qiáng)獨(dú)特生產(chǎn)能力

l 通過即時(shí)現(xiàn)場(chǎng)專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

l PVD 和濺射過程模塊

l 預(yù)清洗模塊

l 非群集 PVD 工具

l 夾鉗式除氣模塊

INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）

技術(shù)規(guī)格

杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。