PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）

SPAV系列已經安裝在各種工藝條件下要求苛刻的應用程序中，證明了其出色的可靠性。它已成為壓力范圍高達<10-7毫巴的真空隔離的標準解決方案，例如與渦輪分子泵連接。

憑借堅固的設計和直接安裝選項，以及由于其分體式機身而減少和易于維護，SPAV系列很容易滿足所有標準要求。

驅動、法蘭連接或額外真空端口的各種設計選項使其易于集成到任何真空應用中。

SPAV系列的一個關鍵特征是它被鎖定在關閉位置，消除了因氣動故障而導致的真空損失風險。

SPAV閘閥有手動和氣動兩種版本，帶電磁閥，既可作為車載解決方案，也可用于外部安裝。電磁閥標準電壓為24 VDC，可根據要求提供其他電壓。閥門位置由機械或電氣位置指示器指示。

法蘭連接器的標準選項是ISO-F和JIS。可以集成客戶特定的法蘭，以及特殊功能，例如激光應用的閘門（作為無密封的閘門）。

標準閘門密封由FKM中的O型圈密封提供，其他密封材料可應要求提供。

特征：

l低擁有成本

l良好的O型圈軸密封閥

l無沖擊，振動最小

l鋁制閥體

l空氣故障時機械鎖處于關閉位置

優點：

lDN40-320，帶FKM O型圈閘門密封

l氣動執行器雙作用

l提供ISO-K版本

lISO-F公制法蘭選項

應用：

l通用真空、太陽能、半導體加工

lPVD、濺射沉積

PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）

技術參數