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INFICON英福康
HCDINFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
INFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器(HCD)是專(zhuān)注于工業(yè)真空/半真空在線(xiàn)連續(xù)監(jiān)測(cè)的固定式設(shè)備,和便攜檢漏儀的定位與應(yīng)用場(chǎng)景差異明顯。
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | INFICON/美國(guó) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,電子/電池 |
INFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器(HCD)
核心原理與特點(diǎn)
l 檢測(cè)原理:采用 ** 紫外光電離(UV PID,10/10.6 eV 輝光放電)** 技術(shù),寬帶非選擇性檢測(cè),可同時(shí)響應(yīng)絕大多數(shù)烴類(lèi)、硅氧烷(硅油),無(wú)需復(fù)雜預(yù)濃縮;無(wú)泵設(shè)計(jì),維護(hù)量極低,適配惡劣工藝環(huán)境。
l 實(shí)時(shí)監(jiān)控:數(shù)據(jù)響應(yīng)迅速,支持 4-20 mA、0-10 V 模擬信號(hào)與 Modbus TCP 數(shù)字通訊,可無(wú)縫接入 INFICON FabGuard® 制程監(jiān)控軟件,實(shí)現(xiàn)趨勢(shì)分析、報(bào)警聯(lián)鎖。
l 安裝與體積:標(biāo)準(zhǔn) KF25(FK25)法蘭安裝,快速部署,占用空間小;工作壓力覆蓋 1 Torr~1 atm,工作溫度 -25℃~180℃,高靈敏度(高發(fā)射模式達(dá)2E-5 A/Torr),檢出限可達(dá)ppb級(jí)(隨工作壓力變化)。

典型應(yīng)用場(chǎng)景
l 半導(dǎo)體/顯示:光刻膠蒸氣、真空泵油反擴(kuò)散、腔室污染預(yù)警;
l 光伏:CVD 制程尾氣、腔體泄漏檢測(cè);
l 制藥:冷凍干燥(凍干)設(shè)備的油蒸氣污染控制;
l 真空鍍膜:工藝氣氛中殘留有機(jī)物監(jiān)測(cè)。
優(yōu)勢(shì)
l 實(shí)時(shí)監(jiān)控
l 定制化傳感器操作控制與數(shù)據(jù)分析
l 通過(guò)數(shù)據(jù)采集實(shí)現(xiàn)無(wú)縫工具集成與可靠攔截
l 快速簡(jiǎn)便的傳感器安裝,最小化工具占用空間
l 低總擁有成本,高投資回報(bào)率
INFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器(HCD)
技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 數(shù)值 |
工作壓力 | 1 Torr~1 atm |
工作溫度 | -25°C 至 180°C |
靈敏度(高發(fā)射) | >2E-5 A/Torr |
接口法蘭 | 標(biāo)準(zhǔn) KF25(可定制) |
通訊 / 輸出 | 4–20 mA、0–10 V、Modbus TCP |
檢測(cè)對(duì)象 | 烴類(lèi)(VOCs)、硅油 / 硅氧烷 |
杭州域勢(shì)科技有限公司專(zhuān)注于為工業(yè)及科研客戶(hù)提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案,公司代理經(jīng)銷(xiāo)美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶(hù)的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶(hù)制造工藝、推動(dòng)客戶(hù)科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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