INFICON英福康Transpector® APX 多壓力傳感器專為未來智能工廠打造，助您洞察、理解并掌控關鍵工藝流程。

詳細介紹：

INFICON英福康多壓力傳感器（Transpector® APX）

在先jin的半導體制造中，每一秒、每分子都至關重要。工藝化學的細微變化會直接影響薄膜質量、均勻性和良率。多數工廠至今仍難以實時監測這些變化，尤其在壓力波動和惡劣化學環境下。即時捕捉、分析并響應氣相數據的能力，如今不僅是工藝控制的必需，更是智能數據驅動制造的核心。

當今的先jin工藝——無論是原子層沉積（ALD）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）還是刻蝕——都要求具備實時可視性、可重復性和工藝控制能力。缺乏這些能力將導致制造商面臨：

l 刻蝕終點不可見及殘留物堆積，引發晶圓缺陷、良率損失和高昂返工成本

l 跨腔室工藝偏差，導致結果不一致，延長新設備組和工藝配方認證周期

l 工藝漂移與污染：源于泄漏、腔室環境惡化或受污染工藝氣體，導致停機時間增加與良率下降

l 傳感器與工廠分析系統間數據孤島：阻礙工程師實時關聯氣相信號與良率/設備健康狀況

Transpector APX多壓力監測系統專為未來智能工廠打造，助您洞察、理解并掌控關鍵工藝流程。

可衡量的成果

通過在關鍵時刻和關鍵位置為工程師提供所需的可視化數據，徹di改變工廠的核心流程。Transpector APX多壓力分析儀不僅是氣體分析儀，更是通往卓yue工藝的智能制造門戶。

l 通過在每個階段捕捉化學信號，最da限度減少廢品和計劃外設備停機時間。

l 借助跨設備一致的傳感器數據和校準，實現更快的工藝爬坡和配方轉移。

l 通過主動監測化學與壓力參數，有效抑制工藝漂移并降低維護成本。

l 提升全廠數據利用率，為分析系統、故障診斷系統及預測性維護平臺提供數據支持。

優勢

l 終ji工藝監測：每秒采集超過550個數據點，實時洞察沉積與刻蝕階段

l 耐強腐蝕化學環境：HexBlock™多入口系統搭載專有涂層，可監測腐蝕性及高顆粒濃度環境

l 空間高效布局：高性能抽氣系統使占地面積縮減30%，輕松適配緊湊型工廠布局

l 無縫設備匹配與分析：通過FabGuard®實現自動校準與工廠分析系統直接集成，確保腔室行為一致性及跨設備數據可靠性

l 智能工廠可擴展集成：支持多層級監測、診斷及數字孿生就緒功能，契合工業4.0與智能制造戰略

INFICON英福康多壓力傳感器（Transpector® APX）

技術規格

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。