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當前位置:首頁產品中心MKSMKS流量計P9BMKS質量流量計

MKS質量流量計

產品簡介

MKS質量流量計(P9B)帶集成壓力傳感器采用新的電子技術,能夠滿足zui苛刻的工藝氣體流量測量要求。

產品型號:P9B
更新時間:2026-03-10
廠商性質:代理商
訪問量:90
詳細介紹在線留言
品牌MKS/美國價格區間1萬-3萬
產品種類質量式介質分類氣體
產地類別進口應用領域能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件

MKS質量流量計(P9B)帶集成壓力傳感器

P9B 多氣體/多量程,金屬密封,質量流量計(MFM)采用新的電子技術,能夠滿足zui苛刻的工藝氣體流量測量要求。P9B 質量流量計集成了一個 Baratron® 電容式壓力計,0-100 psia 全量程壓力傳感器,允許用戶測量和監控管道壓力。壓力可以通過安裝在 MFM 頂部的多方向 LED 顯示進行觀察。

l嵌入式100 psia壓力傳感器允許用戶監測MFM線路壓力

l在寬動態范圍內進行準確的流量測量,即使在近距離范圍內,也能減少對額外低范圍MFM的需求。

l嵌入式配置和診斷軟件,允許用戶檢查MFM功能


MKS質量流量計(P9B)帶集成壓力傳感器

技術參數

類型

質量流量計

全量程流量范圍

5-50000 sccm

測量范圍

0.1-100% 的滿量程(機構上的范圍)

zui大入口壓力

500 psig

證明壓力

1000psig

爆破壓力

1500psig

典型精度

設定點的±1% 適用于 20-100% 滿量程
滿量程的±0.2% 適用于 2-20% 滿量程

重復性

±0.3% 的讀數

分辨率

滿量程的0.1%

零溫度系數

<滿量程的0.05%./°C

張力溫度系數

<0.08%讀數./℃

入口壓力系數

<0.02% 的讀數/psi

預熱時間

<30 分鐘(達到穩態性能的 0.2% 以內)

工作溫度

10-50°C

儲存濕度

0到95%相對濕度,不冷凝

儲存溫度

-20° 至 80°C (-4° 至 149° F)

溫度顯示

0-100°C

溫度精度

±2°C

溫度分辨率

0.1°C

顯示

4位數字表示數值,4位字符表示單位

壓力顯示

0-100 psia

壓力讀數裝置

Psia,kPa

壓力精度

1% 滿刻度

壓力分辨率

0.1psia

配合類型

兼容:Swagelok® 4 VCR®,1.125 英寸表面安裝(C密封,W密封),1.5 英寸 W密封

外部泄漏密封性

<1 x 10-10

潮濕材料

316L不銹鋼(等同于半導體質量的316不銹鋼SCQ),316不銹鋼

表面粗糙度

10微英寸平均粗糙度

重量

<2.5 磅(1.1千克)

合規

CE

電源要求

+15到+24 VDC @ zui大200mA

模擬I/O連接器

15針D型公頭,9針D型公頭

流量輸入輸出信號

0-5 伏直流電

設備網連接器

5針微型連接器(DeviceNet)

RS485連接器

9針D型公頭

姿態不敏感性

滿量程的0.25%用于指示零位、量程和實際量程

 

功能

多氣體/多量程能力

多氣體/多量程功能,以及對準確度的嚴格性能規范,使用戶能夠盡量減少高流量MFM部件編號的庫存。多氣體/多量程功能(及其他自定義控制)是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的,該接口無需特殊軟件或硬件即可操作。只需一根標準以太網電纜和一個支持JAVA的HTML瀏覽器(廣泛可用)即可。典型高流量氣體的氣體關鍵參數已經存儲在設備上。配置設備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶進行常規設備健康檢查、繪制流量圖并存儲操作數據以供離線分析。


杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案,公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案,旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。


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