一、壓力變化法（真空衰減 / 壓降法）

1. 把被檢件 / 測試腔抽真空，關泵保壓

2. 有漏則外界氣體滲入，壓力上升

3. 傳感器測壓力變化率，換算漏率

• 特點：低成本、通用；精度中等，適合粗檢 / 量產

二、氦質譜檢漏法（高精度主流）

1. 被檢件抽真空，噴 / 充氦氣（示蹤氣）

2. 氦經漏孔進入檢漏儀真空系統

3. 離子源將氦電離為He?

4. 磁場 / 四極場質荷比篩選，只讓氦離子通過

5. 收集極測離子流，輸出漏率（可達10?12 Pa·m3/s）

• 模式：吸槍檢漏（定位）、真空檢漏（定量）、背壓檢漏（復雜件）

• 特點：靈敏度高、定量準；航天 / 半導體 / 真空設備優選

三、其他輔助原理

• 鹵素檢漏：鹵素氣體遇熱陰極電離，信號突變定位

• 超聲波檢漏：泄漏產生超聲，探頭捕捉定位

• 高頻火花：低壓真空下漏點放電打火，目視定位

核心邏輯

• 基礎：真空壓差驅動氣體遷移

• 判據：壓力上升或示蹤氣體信號

• 選型：粗檢用壓力法；微漏 / 精密用氦質譜